Analiza obiektu przetwarzania
Tworzywo: szkło kwarcowe klasy optycznej
Funkcje przetwarzania: szlifowanie konturów wielu-powierzchni (w tym 3 asymetryczne fasety)
Kluczowe wymiary: 16×16×10mm (błąd ±0,002mm)
Ten kwarcowy pryzmat, mający jedynie wielkość paznokcia, jest głównym-elementem prowadzącym światło w układzie optycznym wysokiej klasy-domowej maszyny litograficznej. Jego 8 skomplikowanych zakrzywionych powierzchni musi osiągnąć przepuszczalność na poziomie 99,6% i dokładność refrakcji na poziomie nanometrów-, a chropowatość powierzchni bezpośrednio wpływa na rozdzielczość naświetlania maszyny litograficznej.
Bolesne punkty branży i trudności techniczne
Firma zajmująca się technologią optyczną napotkała wąskie gardło w przetwarzaniu pryzmatów kwarcowych podczas promowania lokalizacji maszyn litograficznych:
Tradycyjne wady szlifierskie: Chropowatość po polerowaniu ręcznym nadal osiąga Sa 120 nm, co powoduje 15% utratę rozpraszania światła
„Zależność sprzętu od importu”.: Koszt pojedynczej japońskiej ultra{0}}szlifierki precyzyjnej przekracza 20 milionów juanów, a okres dostawy sięga nawet 18 miesięcy
„Kryzys plonów”.: Tylko 32 z pierwszej partii 500 produkcji próbnych spełniły standardy, co poważnie spowalniało postęp projektu
Dylemat „nie stać mnie na importowany sprzęt, a krajowe procesy nie są dobre” bezpośrednio blokował proces rozwoju niezależnych maszyn litograficznych.
BISHENrozwiązanie rozwiązań
W odpowiedzi na ekstremalne wymagania dotyczące precyzji elementów optycznych zespół techniczny BISHEN opracował innowacyjne badania i rozwój:
1. Ultradźwiękowy pionowy pięcioosiowy system przetwarzania połączeń-
Kompensacja dynamiczna na poziomie 2. 0.1μm-, precyzyjna kontrola 18-osiowych obrabiarek z układem zawieszenia
3. Inteligentne programowanie CAD/CAM dopasowanej powierzchni asymetrycznej
4. Technologia szlifowania-o wysokiej częstotliwości wspomagana ultradźwiękami
5. 40Wibracje ultradźwiękowe kHz zmniejszają o 52% naprężenia skrawania i pozwalają uniknąć mikropęknięć kwarcowych
6. Żywotność ściernicy diamentowej-proszkowej wydłuża się 3-krotnie
Rzeczywisty zmierzony skok wydajności
W masowej produkcji pewnego rodzaju pryzmatów do domowych maszyn litograficznych osiągnięto trzy główne przełomy:
1. Jakość powierzchni: Chropowatość Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.Wydajność przetwarzania:-godziny pracy pojedynczej sztuki zostały skrócone z 14 godzin do 3,5 godziny
3. Kontrola kosztów: Inwestycja w sprzęt to tylko 1/5 importowanego rozwiązania
Wskaźnik wydajności pierwszej partii 3000 produktów wzrósł do 98,7%, pomagając klientom ukończyć montaż prototypów 6 miesięcy przed terminem
oBISHEN
BISHENPrecision Technology (założona w 2017 r.) koncentruje się na przełamywaniu technologii „wąskiego gardła” w dziedzinie-zaawansowanej produkcji. Zbudowała w Dongguan cyfrową fabrykę o powierzchni 7500 metrów kwadratowych, wyposażoną w importowane zestawy sprzętu, takie jak centra obróbcze z pięcioma-osiami i ultra-precyzyjne szlifierki optyczne. Stosując innowacyjne technologie, takie jak obróbka ultradźwiękowa i cięcie kriogeniczne, w sprzęcie półprzewodnikowym, instrumentach optoelektronicznych i innych dziedzinach, dostarczyła kluczowe rozwiązania w zakresie przetwarzania części dla ponad 20 krajowych firm z branży maszyn litograficznych i dostarczyła ponad 500 000 precyzyjnych komponentów optycznych.
