W przemyśle półprzewodnikówprecyzja na poziomie mikrona-to nie luksus,-to podstawa. Komponenty użyte wsystemy obsługi płytek, komory trawienne, Inarzędzia fotolitograficznewymagaćtolerancje wymiaroweczęsto poniżej 5 mikronów. Tradycyjne metody obróbki CNC nie są w stanie sprostać takim wymaganiom bez specjalistycznej kontroli procesu i metrologii.
Wyzwanie: kiedy liczą się mikrony
W przeciwieństwie do konwencjonalnych części przemysłowych, elementy półprzewodnikowe muszą:
Utrzymywaćekstremalna płaskość i równoległość
Miećprecyzyjne ustawienie otworów i podziałka
Zapewnićminimalne wady powierzchniktóre mogłyby mieć wpływ na próżnię lub wydajność optyczną
Nawet najmniejsze odchylenie może prowadzić do:
Niewspółosiowość podczas przenoszenia płytek
Utrata dokładności projekcji fotomaski
Strata plonów z powodu zanieczyszczenia lub dryfu geometrycznego
Przykład z-rzeczywistego świata: ramki narzędzi litograficznych
W jednym projekcie obejmującym alekka rama ze stopu aluminiumdla systemu fotolitograficznego,tolerancja poniżej 5 µmbyło wymagane na powierzchniach montażowych, aby zapewnićidealne wyrównanie nakładkiwzorów chipów.
Aby to osiągnąć zastosowaliśmy:
Obróbka CNC 5-osiowa z kompensacją termiczną
Niskie-wibracje,-sterowanie wrzecionem o dużej prędkości
Sondowanie wymiarowe-w czasie rzeczywistym i pętle sprzężenia zwrotnego
Bez takiej precyzji przesunięcie zaledwie o 10 μm mogłoby zniekształcić wyrównanie maski i zmniejszyć uzysk wiórów,-co może kosztować klienta znaczne przestoje i straty materiału.
Nasz proces o godzBISHEN Precyzja
Obsługujemy producentów półprzewodników OEM w zakresie:
Ultra-precyzyjne frezowanie i toczenie CNC (powtarzalność ±2~5μm)
Ra Mniejsze lub równe 0,2 μm wykończenia powierzchnido krytycznych stref uszczelniających lub optycznych
Opakowanie kompatybilne z pomieszczeniami czystymi-
Inspekcja CMM i skaningu laserowego z możliwymi do prześledzenia raportami
Nasz zespół rozumiekrytyczność każdego mikrona-i wspiera go doświadczeniem w obsłudze środowisk badawczo-rozwojowych oraz środowisk produkcyjnych o dużym-zróżnicowaniu i małej-nakładowości.
Dlaczego to ma znaczenie
W produkcji półprzewodników geometria jest wszystkim. Wszelkie zniekształcenia, niewspółosiowość lub zadziory mogą powodować:
Zniekształcenie wzoru
Błędy w obsłudze płytek
Awaria systemu próżniowego
Precyzyjna obróbka to nie tylko wąskie tolerancje-ale zapewnieniefunkcjonalność i niezawodnośćsprzętu do produkcji chipów nowej-generacji.
