Studium przypadku: Przełom w obróbce podłoża ze szkła kwarcowego
Przedmiot obróbki: podłoże ze szkła kwarcowego do fotolitografii
Dane techniczne:
Tworzywo: Szkło kwarcowe o wysokiej-czystości 99,99%.
Funkcje przetwarzania: dwustronna-faza C0.2 + pionowa ściana boczna
Wymagania dotyczące powierzchni: Ra < 150nm (klasa lustrzana)
Wymiary: 145×145×5,5mm±0,01mm
Analiza problemów związanych z przetwarzaniem w przemyśle
Jako podstawowe materiały eksploatacyjne sprzętu do produkcji półprzewodników, części kwarcowe do fotolitografii muszą spełniać jednocześnie trzy rygorystyczne normy: przepuszczalność materiału > 99,6%, tolerancja wymiarowa ± 10 μm i chropowatość ścian bocznych Ra < 150 nm. Tradycyjna metoda przetwarzania wykorzystuje proces szlifowania ściernic, który stwarza dwa główne problemy branżowe:
Wąskie gardło wydajności: przetwarzanie pojedynczego-elementu zajmuje do 120 minut
Wady powierzchni: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560nm
Utrata narzędzia: zwykła trwałość narzędzia jest mniejsza niż 50 sztuk
BISHENrozwiązania, innowacje technologiczne
Ze względu na twarde i kruche właściwości materiałów kwarcowych, kompozytrozwiązanie do przetwarzaniazostaje przyjęty:
• Ultradźwiękowy system precyzyjnego grawerowania i frezowania 20 kHz
• Frez ze zintegrowanym mikro-ostrzem PCD (krawędź R0,05 mm)
• Proces cięcia warstwowego osiowego (2μm na warstwę)
Porównanie zmierzonych zalet przetwórstwa
Dzięki weryfikacji i porównaniu procesów znacząco poprawiono kluczowe wskaźniki:
Wartość zastosowania branżowego
Rozwiązanie to skutecznie rozwiązało problem przetwarzania „wąskiego gardła” w procesie lokalizacji części maszyn litograficznych, zwiększając zdolność produkcyjną podłoża kwarcowego z 10 sztuk dziennie do 50 sztuk, a stopień kwalifikacji przetwarzania z 63% do 98,5%. Zgodnie z wykryciem interferometru laserowego Zeissa, wartość PV dokładności obróbki powierzchni wynosi<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
Precyzja Bishenaspecjalizuje się w precyzyjnej obróbce części sprzętu, posiada 7500 metrów kwadratowych standardowych warsztatów, a jej usługi obejmują przemysł lotniczy, sprzęt medyczny, roboty przemysłowe i inne dziedziny. Dzięki możliwości przetwarzania złożonych części konstrukcyjnych i certyfikacji systemu ISO zapewnia klientom pełne-rozwiązania procesowe, od projektowania i rozwoju po produkcję masową.
